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光透过型测量仪器 |
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概述 |
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透过型测量仪器测量圆柱形目标物的外径、一般目标物的高度、宽度或厚度等。这类仪器还可以用来进行偏摆、定位以及尺寸测量。 测量方法有:
1. 激光光束扫描目标物，根据激光光束被目标物遮断形成阴影的时间来计算目标物尺寸。
2. 激光光束汇聚成平行光束，并射到目标物上。利用 CCD 摄像传感器或光电二极管检测激光光束被目标物遮断形成阴影。下面分别 介绍采用激光扫描方法和 CCD 或光电二极管方法的装置的工作原理及特性。 |
分类 |
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| 检测方法 |
CCD 方法 |
扫描方法 |
CCD 方法 |
二维的 CMOS 方法 |
| 特性 |
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高速取样 |
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可以测量透明目标物 |
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高再现性和高精度 |
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可以测量透明目标物 |
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高速采样和紧凑的尺寸 |
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可以测量透明目标物 |
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99 个位置瞬时测量 |
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综合测量菜单和辅助工具 |
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当前稳定测量位置校正功能 |
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| 外观 |
感测头 |
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| 控制器 |
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| 型号 |
LS-7000 系列 |
LS 系列 |
IG 系列 |
IM 系列 |
| 再现性 |
0.01µm |
0.05µm |
1µm |
0.1µm |
| 测量精度 |
±0.5µm |
±2µm |
±28µm |
±2µm |
| 测量范围 |
0.04 至 65 mm |
0.08 至 120 mm |
0.1 至 28 mm |
截至 ø100 mm |
| 取样速率 |
2,400 次扫描/每秒 |
1,200 次扫描/每秒 |
2,040 次扫描/每秒 |
约. 1 s |
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